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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：LCSH:Sputtering(Physics)
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影Glow discharge processes : sputtering and plasma etching 中央図書館Brian Chapman.Wiley1980中央５階洋 427.7||C 33
2書影Ion beam assisted film growth U.S. , Series ( Beam modification of materials ; 3 )中央図書館edited by Tadatsugu Itoh.Elsevier1989中央５階洋 541.6||B 31||3
3書影Ion beam modification of insulators ( Beam modification of materials ; 2 )中央図書館edited by Paolo Mazzoldi, George W. ArnoldElsevier1987中央５階洋 541.6||B 31||2
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