Ion beam assisted film growth
書誌情報:Ion beam assisted film growth
edited by Tadatsugu Itoh.
New York ; Amsterdam : Elsevier , 1989.
xvii, 439 p. : ill. ; 25 cm.




  


所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1U.S.0中央５階洋
  • 541.6
  • B 31
  • 3
00510358 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1989
形態xvii, 439 p. : ill. ; 25 cm.
シリーズ名Beam modification of materials ; 3
注記Includes bibliographies and indexes.
出版国オランダ
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Itoh, Tadatsugu.
分類LCC:QC176.9.M84
DC19:530.4/1
ISBN0444872809(U.S.)
0444423664(Series)
件名LCSH:Thinfilms,Multilayered.
LCSH:Ionbombardment.
LCSH:Sputtering(Physics)
LCSH:Semiconductorfilms.
:MicroelectronicdevicesThinfilmsEffectsofionbeams
番号NBN : GB89-131LCCN : 88038872

   
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