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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：LCSH:X-raylithography.
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影The physics of submicron lithography ( Microdevices )中央図書館Kamil A. Valiev.Plenum Press1992中央５階洋 549.9||V 23
2書影Resists in microlithography and printing ( Materials science monographs ; 76 )中央図書館Bohumil Bednář, Jaroslav Králíček, and Jaromír Zachoval, with contributions by Andrey V. Yelcov and Tatyana A. Yurre.Elsevier1993中央５階洋 549.8||B 32
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