The physics of submicron lithography
書誌情報:The physics of submicron lithography
Kamil A. Valiev.
New York : Plenum Press , c1992.
xi, 493 p. : ill. ; 26 cm.


  


所蔵一覧
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1 0中央５階洋
  • 549.9
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書誌詳細
刊年1992
形態xi, 493 p. : ill. ; 26 cm.
シリーズ名Microdevices
注記Includes bibliographical references and index.
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Valiev, Kamilʹ Akhmetovich.
分類LCC:TK7874
DC20:621.381/531
ISBN0306435780
件名LCSH:Lithography,Electronbeam.
LCSH:X-raylithography.
LCSH:Ionbeamlithography.
LCSH:Physics.
LCSH:IntegratedcircuitsProductionUseofLithography
番号NBN : GB92-29543LCCN : 91041122

   
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