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関連資料一覧：（本学所蔵）
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著者情報：Valiev, Kamilʹ Akhmetovich.
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影The physics of submicron lithography ( Microdevices )中央図書館Kamil A. Valiev.Plenum Press1992中央５階洋 549.9||V 23
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