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書誌情報:Lithographic processing of polymer using soft vacuum electron beams
submitted by Lumin Li.
: , 1991
vii, 147 leaves : ill. ; 28 cm.


  


所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 578.44
  • L 61
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00513465 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1991
形態vii, 147 leaves : ill. ; 28 cm.
注記Thesis (Ph. D.)--Colorado State University, 1991.
Includes bibliographical references.
Photocopy. Ann Arbor, MI : UMI, 1992. 22 cm.
出版国[出版地不明]，又は[s.l.]
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Li, Lumin.
件名LCSH:Polymers.
LCSH:Lithography -- Electronbeams.
LCSH:Electronbeams.
LCSH:Glowdischarges.

   
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