Advanced MOS device physics
書誌情報:Advanced MOS device physics
edited by Norman G. Einspruch, Gennady Sh. Gildenblat
Tokyo ; San Diego, Calif. : Academic Press , c1989
xi, 370 p. : ill. ; 24 cm

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巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.8
  • A 16
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00510000 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1989
形態xi, 370 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名VLSI electronics : microstructure science ; v. 18
注記Includes bibliographies and index
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Einspruch, Norman G.
Gildenblat, Gennady Sh.
分類LCC:TK7874. V56
DC19:621.395
NDC8:549.708
NDC7:549.3
ISBN012234118X
件名LCSH:Integratedcircuits -- Verylargescaleintegration
LCSH:Lithography
NCIDBA05099858
番号LCCN : 81002877

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