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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：BSH:マイクロマシン
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影MEMSデバイス徹底入門 : 「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ 中央図書館三田吉郎著日刊工業新聞社2018中央２階 530||Mi 56
2書影これからのMEMS : LSIとの融合 中央図書館江刺正喜, 小野崇人共著森北出版2016中央２階 530||E 71
3書影情報マイクロシステム : 微小振動論 中央図書館板生清著朝倉書店1998中央２階 530||I 88
4書影半導体・MEMSのための超臨界流体 中央図書館近藤英一編著, 上野和良 [ほか] 著コロナ社2012中央２階 549.8||H 29
5書影光マイクロマシン 中央図書館澤田廉士, 羽根一博, 日暮栄冶共著オーム社2002中央５階 549.95||Sa 93
6書影マイクロオプトメカトロニクスハンドブック 中央図書館五十嵐伊勢美, 江刺正喜, 藤田博之編集朝倉書店1997中央２階参考 530.36||Ma 31
7書影マイクロ・ナノマシン技術入門 : 半導体技術で作る微小機械とその応用 多摩図書館藤田博之著工業調査会2003多摩 530||F 57
8書影マイクロマシン : 驚異の極微技術 ( 講談社現代新書 ; 1147 )中央図書館
鶴川図書館
多摩図書館		那野比古著講談社1993中央１階
鶴川２階
多摩
9書影マイクロロボットのためのアクチュエータ技術 中央図書館鈴森康一 [ほか] 共著コロナ社1998中央２階 548.3||Ma 31
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