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関連資料一覧：（本学所蔵）
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件名：LCSH:Plasmaetching.
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 資料名所蔵館責任表示出版者出版年所在
1書影Etching and polymerization in fluorocarbon-hydrogen plasmas : mathematical modeling and experimental investigation 中央図書館by Stephanie Watts Butler. 1991中央５階洋 549.7||B 96
2書影Glow discharge processes : sputtering and plasma etching 中央図書館Brian Chapman.Wiley1980中央５階洋 427.7||C 33
3書影An investigation of anisotropic etching of silicon in an electron cyclotron resonance plasma 中央図書館by Brian David Musson. 1991中央５階洋 549.8||Mu 88
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