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書誌情報:薄膜のプロセッシング
ハクマク ノ プロセッシング
井上知泰著
東京 : 早稲田大学出版部 , 1990.9
vii,125p ; 21cm
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巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央2階
  • 549
  • I 57
  •  
00521979 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1990
形態vii,125p ; 21cm
シリーズ名エレクトロニクスと材料 ; 5
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報井上, 知泰(1947-) (イノウエ, トモヤス)
犬塚, 直夫(1938-) (イヌズカ, タダオ)
伊藤, 糾次(1922-) (イトウ, タダツグ)
分類NDC8:549.8
NDC8:549
ISBN4657909363
件名BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
NCIDBN05547666
番号OTHN : JLA:90028658

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