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書誌情報:半導体エピタキシー技術
ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ
河東田隆著
東京 : 産業図書 , 1982.10
vii, 193p ; 22cm
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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
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書誌詳細
刊年1982
形態vii, 193p ; 22cm
シリーズ名集積回路プロセス技術シリーズ
注記各章末:参考文献
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報河東田, 隆(1944-) (カトウダ, タカシ)
分類NDC8:549.8
ISBN4782856229
件名NDLSH:半導体
NCIDBN00813820
番号NBN : JP83007167

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