| 刊年 | 2016 |
| 形態 | v, 151p : 挿図 ; 22cm |
| 別書名 | これからのMEMS : micro electro mechanical systems : LSIとの融合
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| 注記 | タイトルは奥付による
参考文献: p136-147 |
| 出版国 | 日本 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者情報 | 江刺, 正喜 (1949-) (エサシ, マサヨシ)
小野, 崇人 (オノ, タカヒト(1967-))
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| 分類 | NDC8:530
NDC9:530 |
| ISBN | 9784627775510
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| 件名 | BSH:マイクロマシン
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| NCID | BB21515702 |
| 番号 | OTHN : TRC:16031025 |