| 刊年 | 2007 |
| 形態 | xiii, 210p : 挿図 ; 21cm |
| 別書名 | Electron beam lithography
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| 注記 | 監修: 横山浩
参考文献: p201-203 |
| 出版国 | 日本 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者情報 | 秋永, 広幸 (アキナガ, ヒロユキ)
横山, 浩 (ヨコヤマ, ヒロシ)
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| 分類 | NDC8:549.7
NDC9:549.7 |
| ISBN | 9784274204159
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| 件名 | BSH:リソグラフィー
BSH:電子線
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| NCID | BA82476094 |
| 番号 | OTHN : TRC:07031918 |