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書誌情報:Single chamber processing : proceedings of the joint session on single chamber processing : requirements and challenges of the 1992 E-MRS Spring Meeting Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992
edited by Yves I. Nissim, Avishay Katz
Amsterdam ; New York : North-Holland , 1993
x, 162 p. : ill. ; 29 cm

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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.8
  • Si 8
  •  
00587319 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1993
形態x, 162 p. : ill. ; 29 cm
シリーズ名European Materials Research Society symposia proceedings ; v. 37
注記Includes bibliographical references
出版国オランダ
標題言語英語
本文言語英語
著者情報European Materials Research Society. Meeting
Nissim, Yves I., 1953-
Katz, Avishay
分類LCC:TK7871.85
DC20:621.3815
ISBN0444899154
件名LCSH:Semiconductors -- Designandconstruction -- Congresses
LCSH:Vacuumtechnology -- Congresses
NCIDBA21392252
番号LCCN : 92042556

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