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> Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.
書誌情報:Laser diagnostics and photochemical processing for semiconductor devices : symposium held November 1982 in Boston, Massachusetts, U.S.A.
editors, R.M. Osgood, S.R.J. Brueck, and H.R. Schlossberg
New York : North-Holland , c1983
xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm
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所蔵一覧
巻号
予約人数
所在
請求記号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
0
中央5階洋
549.8
L 33
00510208
利用可
一般
選択行を:
書誌詳細
刊年
1983
形態
xiii, 298 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名
Materials Research Society symposium proceedings
; v. 17
注記
"Sponsored by the Air Force Office of Scientific Research"--T.p. verso
Includes bibliographical references and indexes
出版国
アメリカ合衆国
標題言語
英語
本文言語
英語
著者情報
Osgood, R. M.
Brueck, S. R. J.
Schlossberg, H. R.
United States. Air Force. Office of Scientific Research
分類
LCC:TA1673
DC19:621.3815/2
ISBN
0444007822
件名
LCSH:Lasers -- Industrialapplications -- Congresses
LCSH:Semiconductors -- Congresses
NCID
BA03265606
番号
LCCN : 83008028
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