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書誌情報:Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A.
editors, J.W. Coburn, R.A. Gottscho, D.W. Hess
Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1986
xvii, 463 p. : ill. ; 24 cm
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巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 427.7
  • P 71
  •  
00515261 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1986
形態xvii, 463 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名Materials Research Society symposium proceedings ; v. 68
注記Includes indexes
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Coburn, J. W., 1932-
Gottscho, R. A.
Hess, Dennis W.
Materials Research Society
Symposium on Plasma Processing
分類LCC:TA2005
DC19:621.044
ISBN0931837340
件名LCSH:Plasmaengineering -- Congresses
NCIDBA00570669
番号LCCN : 86016292

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