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書誌情報:VLSIの薄膜技術
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
東京 : 丸善 , 1986.9
xii, 250p ; 22cm
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所蔵一覧
巻号
予約人数
所在
請求記号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
0
中央2階
549.7
I 89
00521551
利用可
一般
選択行を:
書誌詳細
刊年
1986
形態
xii, 250p ; 22cm
シリーズ名
電子材料シリーズ
注記
各章末:文献
出版国
日本
標題言語
日本語
本文言語
日本語
著者情報
伊藤, 隆司
(イトウ, タカシ)
石川, 元
(イシカワ, ハジメ)
中村, 宏昭
(ナカムラ, ヒロアキ)
分類
NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
ISBN
4621031120
件名
BSH:集積回路
BSH:薄膜
NDLSH:集積回路
NDLSH:薄膜
NCID
BN00435789
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