| 刊年 | 2020 |
| 形態 | 38, 6, 16, 1468, 21, 15p : 挿図 ; 27cm |
| 別書名 | Handbook of thin film fabrication and application
2020版薄膜作製応用ハンドブック
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| 注記 | 監修: 權田俊一
第2版(2003年刊)につづく第3版にあたる
巻頭: 口絵
各章末: 参考・引用文献
巻末: 索引・付録(評価方法と評価対象一覧) |
| 出版国 | 日本 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者情報 | 権田, 俊一 (1936-) (ゴンダ, シュンイチ)
酒井, 忠司 (サカイ, タダシ)
田畑, 仁(工学) (タバタ, ヒトシ)
八瀬, 清志 (ヤセ, キヨシ)
宮崎, 照宣 (1943-) (ミヤザキ, テルノブ)
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| 分類 | NDC8:549
NDC8:549.036
NDLC:ND2
NDLC:ND371 |
| ISBN | 9784860436315
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| 件名 | NDLSH:薄膜
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| NCID | BB29670662 |