刊年 | 2007 |
形態 | xiii, 210p : 挿図 ; 21cm |
別書名 | Electron beam lithography
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注記 | 監修: 横山浩 参考文献: p201-203 |
出版国 | 日本 |
標題言語 | 日本語 |
本文言語 | 日本語 |
著者情報 | 秋永, 広幸 (アキナガ, ヒロユキ) 横山, 浩 (ヨコヤマ, ヒロシ)
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分類 | NDC8:549.7 NDC9:549.7 |
ISBN | 9784274204159
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件名 | BSH:リソグラフィー
BSH:電子線
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NCID | BA82476094 |
番号 | OTHN : TRC:07031918 |