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書誌情報:プロセス評価
プロセス ヒョウカ
西澤潤一編
東京 : 工業調査会 , 1981.6
12, 446p : 挿図 ; 27cm
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書誌詳細
刊年1981
形態12, 446p : 挿図 ; 27cm
シリーズ名半導体研究 ; 17巻[超LSI技術 ; 4]
注記執筆: 飯塚尚和ほか
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報西澤, 潤一(1926-) (ニシザワ, ジュンイチ)
分類NDC8:549
件名NDLSH:半導体
NCIDBN00182548
番号NBN : JP81031378

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