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書誌情報:プロセス評価
プロセス ヒョウカ
西澤潤一編
東京 : 工業調査会 , 1981.6
12, 446p : 挿図 ; 27cm
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巻号
予約人数
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請求記号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
0
中央5階
428.85
H 29
17
00368888
利用可
一般
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書誌詳細
刊年
1981
形態
12, 446p : 挿図 ; 27cm
シリーズ名
半導体研究
; 17巻[超LSI技術 ; 4]
注記
執筆: 飯塚尚和ほか
出版国
日本
標題言語
日本語
本文言語
日本語
著者情報
西澤, 潤一(1926-)
(ニシザワ, ジュンイチ)
分類
NDC8:549
件名
NDLSH:半導体
NCID
BN00182548
番号
NBN : JP81031378
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