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書誌情報:半導体プロセス
ハンドウタイ プロセス
西澤潤一編
東京 : 工業調査会 , 1979.8-1985.8
3冊 ; 27cm
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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1[その1]0中央５階
  • 428.85
  • H 29
  • 16
00291105 利用可
一般 
2その20中央５階
  • 428.85
  • H 29
  • 19
00368890 利用可
一般 
3その30中央２階
  • 549.8
  • H 29
  • 22
00520368 利用可
一般 
0中央５階
  • 428.85
  • H 29
  • 22
00380365 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1979-1985
形態3冊 ; 27cm
シリーズ名半導体研究 ; 16巻, 19巻, 22巻[超LSI技術 ; 3, 6, 9]
注記各章末: 参考文献
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報西澤, 潤一(1926-) (ニシザワ, ジュンイチ)
分類NDC6:549
ISBN4769310250(その2)
4769310463(その3)
件名NDLSH:半導体
NCIDBN00178154
番号NBN : JP79031523

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