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> Etching and polymerization in fluorocarbon-hydrogen plasmas : mathematical modeling and experimental investigation
書誌情報:Etching and polymerization in fluorocarbon-hydrogen plasmas : mathematical modeling and experimental investigation
by Stephanie Watts Butler.
: , 1991.
xxiii, 349 leaves : ill. ; 29 cm.
所蔵一覧
巻号
予約人数
所在
請求記号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
0
中央5階洋
549.7
B 96
00514039
利用可
一般
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書誌詳細
刊年
1991
形態
xxiii, 349 leaves : ill. ; 29 cm.
注記
Vita.
Thesis (Ph. D.)--University of Texas at Austin, 1991.
Includes bibliographical references (leaves 315-349).
Photocopy. Ann Arbor, MI : UMI, 1992. 22 cm.
出版国
[出版地不明],又は[s.l.]
標題言語
英語
本文言語
英語
著者情報
Butler, Stephanie Watts, 1963-
件名
LCSH:Plasmaetching.
LCSH:Plasmapolymerization.
LCSH:Plasma(Ionizedgases)
LCSH:Fluorocarbons.
LCSH:Hydrogen.
LCSH:Oxides.
LCSH:Silicon.
LCSH:Ionbombardment.
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