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書誌情報:Etching and polymerization in fluorocarbon-hydrogen plasmas : mathematical modeling and experimental investigation
by Stephanie Watts Butler.
: , 1991.
xxiii, 349 leaves : ill. ; 29 cm.


  


所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.7
  • B 96
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00514039 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1991
形態xxiii, 349 leaves : ill. ; 29 cm.
注記Vita.
Thesis (Ph. D.)--University of Texas at Austin, 1991.
Includes bibliographical references (leaves 315-349).
Photocopy. Ann Arbor, MI : UMI, 1992. 22 cm.
出版国[出版地不明]，又は[s.l.]
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Butler, Stephanie Watts, 1963-
件名LCSH:Plasmaetching.
LCSH:Plasmapolymerization.
LCSH:Plasma(Ionizedgases)
LCSH:Fluorocarbons.
LCSH:Hydrogen.
LCSH:Oxides.
LCSH:Silicon.
LCSH:Ionbombardment.

   
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