Beam processing technologies
書誌情報:Beam processing technologies
edited by Norman G. Einspruch, S.S. Cohen, Raj N. Singh
Tokyo ; San Diego, Calif. : Academic Press , c1989
xii, 546 p. : ill. ; 24 cm

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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.7
  • B 31
  •  
00512420 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1989
形態xii, 546 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名VLSI electronics : microstructure science ; v. 21
注記Includes bibliographies and index
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Einspruch, Norman G.
Cohen, Simon S.
Singh, Raj N.
分類LCC:TK7874
NDC7:549.3
NDC7:549.46
NDC8:549.708
ISBN012234121X
件名LCSH:Intergratedcircuits -- Verylargescaleintegration
NCIDBA06985587
番号LCCN : 81002877

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