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書誌情報:Silicon-on-insulator and buried metals in semiconductors : symposium held November 30-December 3, 1987, Boston, Massachusetts, U.S.A.
editors, James C. Sturm ... [et al.]
Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1988
xvii, 524 p. : ill. ; 24 cm

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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.8
  • Si 4
  •  
00511510 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1988
形態xvii, 524 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名Materials Research Society symposium proceedings ; v. 107
注記Includes bibliographies and indexes
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Sturm, James C.
Materials Research Society
分類LCC:TK7871.85
DC19:621.3815/22
ISBN0931837758
件名LCSH:Semiconductors -- Designandconstruction -- Congresses
LCSH:Ionimplantation -- Congresses
NCIDBA0514719X
番号LCCN : 88012739

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