Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA
書誌情報:Laser and particle-beam chemical processing for microelectronics : symposium held December 1-3, 1987, Boston, Massachusetts, USA
editors, Daniel J. Ehrlich, Gregg S. Higashi, Modest M. Oprysko
Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1988
xv, 509 p. : ill. ; 24 cm
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巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.95
  • L 33
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00511506 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1988
形態xv, 509 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名Materials Research Society symposium proceedings ; v. 101
注記Includes bibliographies and indexes
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Ehrlich, Daniel J.
Higashi, Gregg S.
Oprysko, Modest Michael, 1957-
Materials Research Society
分類LCC:TK7874
DC19:621.381/7
ISBN0931837693
件名LCSH:Integratedcircuits -- Designandconstruction -- Congresses
LCSH:Lasers -- Industrialapplications -- Congresses
LCSH:Lasersinchemistry -- Congresses
NCIDBA05021227
番号LCCN : 88005363

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