Lithography for VLSI
書誌情報:Lithography for VLSI
edited by Norman G. Einspruch, R.K. Watts
Tokyo ; Orlando : Academic Press , 1987
xi, 361 p. : ill. ; 24 cm
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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.7
  • L 71
  •  
00511389 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1987
形態xi, 361 p. : ill. ; 24 cm
シリーズ名VLSI electronics : microstructure science ; v. 16
注記Includes bibliographies and index
出版国アメリカ合衆国
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Einspruch, Norman G.
Watts, R. K. (Roderick K.), 1939-
分類LCC:TK7874
DC19:621.381/73 s
DC19:621.381/73
ISBN0122341163
件名LCSH:Integratedcircuits -- Verylargescaleintegration
LCSH:Printedcircuits
LCSH:Lithography
NCIDBA01291241
番号LCCN : 86032156

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