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書誌情報:Electron-beam technology in microelectronic fabrication
edited by George R. Brewer
contributors, J. P. Ballantyne ... [et al.]
New York : Academic Press , 1980.
xi, 362 p. : ill. ; 24 cm.


  


所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央５階洋
  • 549.9
  • E 45
  •  
00510020 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1980
形態xi, 362 p. : ill. ; 24 cm.
注記Includes bibliographies and index.
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Brewer, George Raymond, 1922-
Ballantyne, J. P.
分類LCC:TK7874
DC:621.381/7
ISBN012133550X
件名LCSH:Microelectronics.
LCSH:Lithography,Electronbeam.
番号LCCN : 79008856

   
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