Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications
書誌情報:Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications
edited by William B. Glendinning, John N. Helbert.
Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications , c1991.
xxii, 649 p. : ill. ; 25 cm.




  


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1 0中央５階洋
  • 549.7
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書誌詳細
刊年1991
形態xxii, 649 p. : ill. ; 25 cm.
シリーズ名Materials science and process technology series
注記Includes bibliographical references and index.
標題言語英語
本文言語英語
著者情報Glendinning, William B.
Helbert, John N.
分類LCC:TK7874
DC20:621.381/531
ISBN0815512813
件名LCSH:Integratedcircuits -- Verylargescaleintegration.
LCSH:Microlithography.
番号LCCN : 90023646

   
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