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書誌情報:薄膜作製ハンドブック
ハクマク サクセイ ハンドブック
応用物理学会薄膜・表面物理分科会編
東京 : 共立出版 , 1991.3
380p ; 27cm





  


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  • O 95
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書誌詳細
刊年1991
形態380p ; 27cm
注記各章末:文献
出版国日本
著者情報応用物理学会 (オウヨウ ブツリ ガッカイ)
分類NDC8:549
NDLC:ND371
ISBN4320084934
件名NDLSH:薄膜
番号NBN : JP91034090