CVDハンドブック
書誌情報:CVDハンドブック
シーヴィディー ハンドブック
化学工学会編
東京 : 朝倉書店 , 1991.6
800,18p ; 22cm



  


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書誌詳細
刊年1991
形態800,18p ; 22cm
注記各章末:文献
出版国日本
著者情報化学工学会 (カガク コウガッカイ)
分類NDC8:571
NDLC:PA151
ISBN425425234X
件名NDLSH:薄膜
番号NBN : JP91052377