| 刊年 | 1989 |
| 形態 | vi, 254p ; 22cm |
| 別書名 | 薄膜材料工学
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| 注記 | 文献: 各章末 |
| 出版国 | 日本 |
| 標題言語 | 日本語 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 著者情報 | 北田, 正弘(1942-) (キタダ, マサヒロ)
入戸野, 修(1941-) (ニットノ, オサム)
大坂, 敏明(1941-) (オオサカ, トシアキ)
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| 分類 | NDC8:501.4
NDC8:549 |
| ISBN | 4303712604
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| 件名 | BSH:薄膜
NDLSH:電子部品
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| NCID | BN04012255 |
| 番号 | OTHN : JLA:89030842 |