書誌情報:半導体評価技術
ハンドウタイ ヒョウカ ギジュツ
河東田隆編著
奥村次徳 [ほか] 執筆
東京 : 産業図書 , 1989.2
viii, 330p ; 22cm
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1 0中央２階
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書誌詳細
刊年1989
形態viii, 330p ; 22cm
シリーズ名集積回路プロセス技術シリーズ
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報河東田, 隆(1944-) (カトウダ, タカシ)
菅野, 卓雄(1931-) (スガノ, タクオ)
奥村, 次徳 (オクムラ, ツグノリ)
分類NDC8:549.8
ISBN478285627X
件名BSH:半導体
NDLSH:半導体
NCIDBN03233656
番号OTHN : JLA:89005949

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