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超LSI材料・プロセスの基礎
書誌情報:超LSI材料・プロセスの基礎
チョウ LSI ザイリョウ プロセス ノ キソ
岸野正剛著
東京 : オーム社 , 1987.12
viii, 226p ; 22cm
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所蔵一覧
巻号
予約人数
所在
請求記号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
0
中央2階
549.7
Ki 58
00519438
利用可
一般
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書誌詳細
刊年
1987
形態
viii, 226p ; 22cm
別書名
超LSI材料プロセスの基礎
注記
監修:伊藤良一
出版国
日本
標題言語
日本語
本文言語
日本語
著者情報
岸野, 正剛
(キシノ, セイゴウ)
分類
NDC8:549.7
NDC7:549.8
ISBN
4274031853
件名
BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NCID
BN01884879
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