超LSI材料・プロセスの基礎
書誌情報:超LSI材料・プロセスの基礎
チョウ LSI ザイリョウ プロセス ノ キソ
岸野正剛著
東京 : オーム社 , 1987.12
viii, 226p ; 22cm
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書誌詳細
刊年1987
形態viii, 226p ; 22cm
別書名超LSI材料プロセスの基礎
注記監修:伊藤良一
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報岸野, 正剛 (キシノ, セイゴウ)
分類NDC8:549.7
NDC7:549.8
ISBN4274031853
件名BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NCIDBN01884879

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