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書誌情報:SOI構造形成技術
エスオーアイ コウゾウ ケイセイ ギジュツ
古川静二郎編著
東京 : 産業図書 , 1987.10
281p ; 22cm




  


所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央２階
  • 549.8
  • F 93
  •  
00520486 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1987
形態281p ; 22cm
シリーズ名集積回路プロセス技術シリーズ
注記各章末:文献
出版国日本
著者情報古川, 静二郎 (フルカワ, セイジロウ)
分類NDC8:549.8
NDLC:ND371
ISBN4782856253
件名NDLSH:半導体
NDLSH:シリコン(半導体)
番号NBN : JP88005433

   
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