サブミクロンデバイス
書誌情報:サブミクロンデバイス
サブ ミクロン デバイス
小柳光正著
東京 : 丸善 , 1987.7-1988.1
2冊 ; 22cm

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所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
110中央２階
  • 549.7
  • Ko 97
  • 1
00521549 利用可
一般 
220中央２階
  • 549.7
  • Ko 97
  • 2
00521550 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1987-1988
形態2冊 ; 22cm
シリーズ名電子材料シリーズ
注記各章末:文献
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報小柳, 光正 (コヤナギ, ミツマサ)
分類NDC8:549.7
NDC7:549.8
ISBN462103183X(1)
4621032380(2)
無効/取消ISBN4621043528(1)
4621043951(2)
件名BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NCIDBN01166117
番号OTHN : JLA:87-19390

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