VLSIの薄膜技術
書誌情報:VLSIの薄膜技術
VLSI ノ ハクマク ギジュツ
伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
東京 : 丸善 , 1986.9
xii, 250p ; 22cm

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巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央２階
  • 549.7
  • I 89
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00521551 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1986
形態xii, 250p ; 22cm
シリーズ名電子材料シリーズ
注記各章末:文献
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報伊藤, 隆司 (イトウ, タカシ)
石川, 元 (イシカワ, ハジメ)
中村, 宏昭 (ナカムラ, ヒロアキ)
分類NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND386
ISBN4621031120
件名BSH:集積回路
BSH:薄膜
NDLSH:集積回路
NDLSH:薄膜
NCIDBN00435789

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