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書誌情報:超LSI時代のプラズマ化学
チョウ エルエスアイ ジダイ ノ プラズマ カガク
「電子材料」編集部編
東京 : 工業調査会 , 1983.9
213p ; 22cm


  


所蔵一覧
巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央２階
  • 572.2
  • D 59
  •  
00520344 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1983
形態213p ; 22cm
注記各章末:参考文献
出版国日本
著者情報電子材料編集部 (デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ)
分類NDC8:431.7
NDLC:PA181
NDLC:MC241
ISBN4769310315
件名NDLSH:プラズマ
番号NBN : JP84010377

   
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