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超LSI時代のプラズマ化学
書誌情報:超LSI時代のプラズマ化学
チョウ エルエスアイ ジダイ ノ プラズマ カガク
「電子材料」編集部編
東京 : 工業調査会 , 1983.9
213p ; 22cm
所蔵一覧
巻号
予約人数
所在
請求記号
資料ID
状態
貸出区分
備考
1
0
中央2階
572.2
D 59
00520344
利用可
一般
選択行を:
書誌詳細
刊年
1983
形態
213p ; 22cm
注記
各章末:参考文献
出版国
日本
著者情報
電子材料編集部
(デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ)
分類
NDC8:431.7
NDLC:PA181
NDLC:MC241
ISBN
4769310315
件名
NDLSH:プラズマ
番号
NBN : JP84010377
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