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書誌情報:半導体プラズマプロセス技術
ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
菅野卓雄編著
東京 : 産業図書 , 1980.7
6, 373p ; 22cm

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巻号予約人数所在請求記号資料ID状態貸出区分備考 
1 0中央２階
  • 549.8
  • Su 25
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00520489 利用可
一般 

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書誌詳細
刊年1980
形態6, 373p ; 22cm
シリーズ名集積回路プロセス技術シリーズ
注記各章末:参考文献
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報菅野, 卓雄(1931-) (スガノ, タクオ)
分類NDC6:549.7
NDC8:549.7
ISBN4782856210
件名NDLSH:集積回路
NCIDBN0059785X
番号NBN : JP80033444

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