書誌情報:超LSI回路とプロセス
チョウ LSI カイロ ト プロセス
西澤潤一編
東京 : 工業調査会 , 1986.8
8, 324p : 挿図 ; 27cm
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所蔵一覧
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書誌詳細
刊年1986
形態8, 324p : 挿図 ; 27cm
シリーズ名半導体研究 ; 24巻[超LSI技術 ; 10]
注記執筆: 秋谷秀夫ほか
各章末: 参考文献
出版国日本
標題言語日本語
本文言語日本語
著者情報西澤, 潤一(1926-) (ニシザワ, ジュンイチ)
分類NDC8:549
ISBN4769310544
件名NDLSH:半導体
NCIDBN00551043
番号NBN : JP86056978

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